您好！歡迎訪(fǎng)問(wèn)安徽貝意克設備技術(shù)有限公司網(wǎng)站！
全國服務(wù)咨詢(xún)熱線(xiàn)：
18019970653
18019970653
簡(jiǎn)要描述：BTF-1200C-PECVD： 貝意克公司研制的PECVD系統能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。其優(yōu)勢有沉積溫度低，沉積速率快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂等。
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2018-05-07訪(fǎng) 問(wèn) 量：2667產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細介紹
產(chǎn)品型號： | BTF-1200C-PECVD |
實(shí)驗機理： | PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應，從而實(shí)現薄膜材料生長(cháng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單。 |
技術(shù)參數： | 加熱區參數 反應腔體尺寸：Φ50，Φ60，Φ80，Φ100 加熱區長(cháng)度：440mm 恒溫區長(cháng)度：200mm（±1℃） 工作溫度：1100℃ zui高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度：±1℃ 升溫速率：20℃/min 爐門(mén)結構：開(kāi)啟式 工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：3KW |
真空參數 采用KF25系列波紋管和手動(dòng)擋板閥； 真空度可達10-3torr； 數顯真空測試儀可直觀(guān)的顯示數值。 | |
流量控制參數 內部裝有高精度質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量； 氣體流量范圍可選，誤差為±1.5%； 一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥； 不銹鋼針閥安裝在左側可手動(dòng)控制混合氣體輸入。 | |
射頻電源與匹配器 電源：?jiǎn)蜗?0/60Hz 220v±10% 加熱（功率）電源：2.5KW，25A 控制柜電源空氣開(kāi)關(guān)：32A空氣開(kāi)關(guān) 薄膜生長(cháng)室溫度：室溫~ 1200℃ 射頻頻率：13.56MHz 射頻功率輸出范圍：5~500W | |
細節展示： |
|
外型尺寸： | 爐體：940×380×520mm 供氣及真空系統：600×600×600mm |
凈重： | 130Kg |
認證和： |
號：ZL201320052532.0 （產(chǎn)品，防偽必究） |
產(chǎn)品咨詢(xún)
地址：安徽省合肥市宜秀路6號貝意克肥西基地
郵箱：besteq@163.com
傳真：86-0551-65148123
電話(huà)
微信掃一掃
當前位置：