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簡(jiǎn)要描述：該款設備是全自動(dòng)Plasma增強CVD系統（PECVD），連續可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統，可以低壓條件下實(shí)現工藝，PECVD系統能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區，輝光相對均勻等效，很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài)，該設備爐管可360°旋轉，有助于粉料的燒結更均勻，可大角度傾斜，方便進(jìn)出料，傾斜角度在0-35°之間，所有物料經(jīng)過(guò)的管道都選用非金屬材質(zhì)，
產(chǎn)品型號：BTF-1200C-RP-PECVD廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2021-11-11訪(fǎng) 問(wèn) 量：1238相關(guān)文章
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| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
技術(shù)參數
加熱系統Heating system | |
功率 | 4KW |
電壓 | AC220V 50/60Hz |
zui高溫度 | 1200°C |
使用溫度 | 1100°C |
加熱長(cháng)度 | 200mm+200mm |
恒溫長(cháng)度 | 250mm |
| 模糊PID控制和自整定調節 智能化30段可編程控制 超溫和斷偶報警功能 操作界面為10 "液晶觸摸屏控制 |
控溫精度 | +/- 1℃ |
爐管尺寸 | Size：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm 尺寸：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm Furnace tube rotation rate：0~60r/min 爐管轉速：0~60r/min |
Furnace body inclination angle | 0~35°（adjustable） |
Plasma系統 | |
本系統借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過(guò)反應氣態(tài)放電，有效利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式。 | T |
進(jìn)料系統 | |
送料系統速度連續可調，停止送料且爐體傾斜zui大時(shí)，物料不會(huì )從送料系統外漏，送料系統方便拆卸，拆卸后可手動(dòng)加料，設備可正常運行。 | T |
出料系統 | |
出料系統在爐體傾斜出料時(shí)可自動(dòng)出料。） | |
氣體控制系統 | |
該控氣系統是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的，也可以獨立控制，質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動(dòng)的機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。 | |
低真空系統 | |
該系統配備真空機械泵，可以抽真空，可以讓設備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應。 | |
氣料分離系統 | |
該系統可以讓設備在充氣體保護或者抽真空時(shí)，實(shí)現氣體與物料的分離。 | |
過(guò)濾系統 | |
該系統可防止物料進(jìn)入真空泵，保證真空泵的正常運行。 | |
爐管轉動(dòng)系統 | |
爐管轉動(dòng)系統可以讓爐管360°勻速轉動(dòng)，轉速在0-60r/min連續可調，且能在60r/min轉速下長(cháng)時(shí)間運行。 | |
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