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簡(jiǎn)要描述：單工位大口徑快速退火爐是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成，內控熱電偶用于控制RTP滑軌爐內的溫度，伺服電機用于控制絲桿的轉動(dòng)速度達到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調節爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2021-09-27訪(fǎng) 問(wèn) 量：1200相關(guān)文章
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| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類(lèi) | 管式爐 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
| 應用領(lǐng)域 | 醫療衛生,環(huán)保,食品,化工 |
設備單工位大口徑快速退火爐特點(diǎn)：
該款設備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成，內控熱電偶用于控制RTP滑軌爐內的溫度，伺服電機用于控制絲桿的轉動(dòng)速度達到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調節爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過(guò)連接手動(dòng)擋板閥、波紋管用于對石英艙體內的真空獲取，進(jìn)氣口除用于通入保護氣體或反應氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。
單工位大口徑快速退火爐結構與原理：
設備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、流量控制系統及工控電腦操作系統。
1、單端封口小型紅外滑軌爐：
該加熱系統采用先進(jìn)制造工藝，造型新穎結構合理，爐體爐管可實(shí)現自動(dòng)分離，爐體上下兩半設計，氣動(dòng)彈簧支撐結構讓操作者可各角度自由打開(kāi)，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強高溫穩定性，可有效減少熱能損耗。
該滑軌爐加熱系統由紅外燈管加熱，采用內插熱電偶控溫的方式實(shí)時(shí)顯示石英腔體內部溫度，加熱區長(cháng)度為370mm，恒溫區長(cháng)度200mm，確保兩個(gè)φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區內，為讓樣品在爐管內的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區200mm內的溫場(chǎng)均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個(gè)石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過(guò)程可在通入一定量保護氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達到2℃/s， 試樣反應區處在一個(gè)密閉的石英腔體內，在完成工藝的同時(shí)大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內的溫場(chǎng)均勻性及石英艙體內的潔凈度。
2、電機調速裝置：
伺服電機調速裝置用于控制絲桿的轉動(dòng)速度，達到控制爐管部分的整體移動(dòng)速度（含樣件），以此調整快速升降溫的目標速率，電機旋轉速度實(shí)時(shí)顯示并且精確可控，以獲得精確的移動(dòng)速度，滿(mǎn)足降溫時(shí)工藝參數要求。
3、主要參數
加熱系統 | |
供電電源 | 220V，50Hz |
額定功率 | 10KW |
石英管尺寸 | Φ210*370mm（爐管直徑可根據實(shí)際需要定制。） |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
加熱原件 | 電阻絲 |
控溫精度 | ±5℃ |
熱電偶類(lèi)型 | K型熱電偶（內插） |
控制方式 | 該系統人機界面+PLC控制，10寸液晶屏顯，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機旋轉速度等信息。 |
氣路系統 | |
標準量程（N2) | 1000sccm（可根據用戶(hù)要求定制） |
準確度 | ±1.5% |
線(xiàn)性 | ±0.5～1.5% |
重復精度 | ±0.2% |
響應時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
最大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
真空系統 | |
機械泵 | 抽氣速率：4L/S 容油量：1.1L 電機功率：400W~ 極限壓強：6×10-2Pa |
分子泵 | 抽氣速率：100L/S 極限壓強：1×10-4Pa 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min 額定轉速：4300轉/分 冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)看，水冷。 |
分子泵控制器 | 電壓：220V±22V 啟動(dòng)電流：≤7A 輸入頻率：47HZ—63HZ 最大輸出功率：≤150W 最大加速電壓：≤40V 加速時(shí)間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ |
復合真空計 | 測量路數：2路（電阻規、電離規各1路） 工作模式：手動(dòng)/自動(dòng) 電阻單元參數 規管型號：ZJ-52T電阻規 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數 規管型號：ZJ-27電離規 可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規管除氣方式：焦耳去氣 其他參數 控制路數：4路 控制方式：點(diǎn)動(dòng)或區域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時(shí)間：1S 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環(huán)境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% |
連接管路 | 采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s |
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