您好！歡迎訪(fǎng)問(wèn)安徽貝意克設備技術(shù)有限公司網(wǎng)站！
全國服務(wù)咨詢(xún)熱線(xiàn)：
18019970653
18019970653
簡(jiǎn)要描述：二維材料制備CVD系統前端配有可加熱到400℃的預加熱器，輔助二維材料蒸發(fā)，后端為雙溫區管式爐，溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便。并配質(zhì)量流量計系統和真空系統，可以準確的反應腔體內部的氣體壓力和氣體流量，對于做低壓CVD實(shí)驗非常實(shí)用，重復性好。
產(chǎn)品型號：BTF-1200C-II-SL-CVD廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2021-10-22訪(fǎng) 問(wèn) 量：1262詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
設備二維材料制備CVD系統特點(diǎn)：此款CVD系統前端配有可加熱到400℃的預加熱器，輔助二維材料蒸發(fā)，后端為雙溫區管式爐，溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便。并配質(zhì)量流量計系統和真空系統，可以準確的反應腔體內部的氣體壓力和氣體流量，對于做低壓CVD實(shí)驗非常實(shí)用，重復性好。
二維材料制備CVD系統
| 硫粉預熱器 | 工作溫度：400℃ 最高溫度：1200℃ 最快升溫速率：≤30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 |
| 加熱區參數
| 額定功率：5kw 最高溫度：1200℃ 工作溫度：1100℃ 最大升降溫速率：≤30℃/min 爐管尺寸：高純度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100X1650mm (管徑可選) 加熱區長(cháng)度：200+200mm 恒溫區長(cháng)度：290mm 控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。 標準配件：石英管1支，莫來(lái)石管堵2對，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支； 尺寸：約 550×380×600 mm（爐子） 約：1700×380×620 mm（爐子+滑軌） 可選配單溫區、雙溫區、三溫區等加熱區。 |
| 氣路系統參數
| 質(zhì)量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選） 準確度：±1.5% 線(xiàn)性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時(shí)間：≤10 sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數字顯示 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa，0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭 可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計 |
| 低真空系統參數
| 抽速：10m³/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220V 50HZ 電機功率：0.4kw 進(jìn)排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數： 1.配用規管：電阻規 2.測量范圍： 105 ～10-1Pa 3.測量路數： 1路 4.控制范圍： 5×103～5×10-1Pa， 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
| 使用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa |
產(chǎn)品咨詢(xún)
地址：安徽省合肥市宜秀路6號貝意克肥西基地
郵箱：besteq@163.com
傳真：86-0551-65148123
電話(huà)
微信掃一掃
當前位置：