連續進(jìn)出料回轉CVD生長(cháng)設備

1、連續進(jìn)出料回轉CVD生長(cháng)設備主要特點(diǎn)

　　該設備爐管可360°旋轉，有助于粉料的燒結更均勻，可大角度傾斜，方便進(jìn)出料，傾斜角度在0-35°之間。

　　2、設備組成：加熱系統，進(jìn)料系統，出料系統，氣體控制系統，低真空系統，爐管轉動(dòng)系統，電控操作系統。

　　(1)加熱系統：

　　該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統。

　　高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無(wú)須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線(xiàn)的升、降溫要求調整輸出信號，同時(shí)系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

       (2)連續進(jìn)出料回轉CVD生長(cháng)設備進(jìn)料系統：

　　送料系統速度連續可調，停止送料且爐體傾斜最大時(shí)，物料不會(huì )從送料系統外漏，送料系統方便拆卸，拆卸后可手動(dòng)加料，設備可正常運行。

　　(3)出料系統：

　　出料系統在爐體傾斜出料時(shí)可自動(dòng)出料。

　　(4)氣體控制系統：

　　該控氣系統是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的，也可以獨立控制，質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動(dòng)的機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

       (5)低真空系統：

　　該系統配備真空機械泵，可以抽真空，可以讓設備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應。

       (6)爐管轉動(dòng)系統：

　　爐管轉動(dòng)系統可以讓爐管360°勻速轉動(dòng)，轉速在0-60r/min連續可調，且能在60r/min轉速下長(cháng)時(shí)間運行。

　　3.技術(shù)指標：

　　(1)該設備爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;

　　(2)整個(gè)爐子和送料、收料系統能夠一起傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間可調;

　　(3)送料系統送料速度連續可調，停止送料且爐體最大傾斜時(shí)，物料不從送料系統外漏。送料系統方便拆卸，拆卸之后可以手動(dòng)加料，設備可正常運行。

　　(4)爐管回轉穩定，不會(huì )上下左右跳動(dòng);轉速在0~60r/min連續可調，能在60r/min轉速下連續長(cháng)期運轉(>24h)。