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當前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > PECVD系統 > 智能型 > PECVD-500A-D智能型PECVD系統(含壓力控制系統)

智能型PECVD系統(含壓力控制系統)

簡(jiǎn)要描述:智能PECVD設備是目前最新型的一款設備,將所有的控制部分集為一體,此款設備是我司于2013年研發(fā)成功的,可配備PE射頻電源,將CVD系統升級為PECVD。當參與反應的氣氛進(jìn)入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體,可使反應更加充分。同時(shí)等離子體起增強的作用,從而很大程度上優(yōu)化實(shí)驗的工藝條件。

  • 產(chǎn)品型號:PECVD-500A-D
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-02-18
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1588

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品牌貝意克

 我公司研制的滑軌式PECVD系統能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區,輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。

 與傳統CVD系統比較,生長(cháng)溫度更低。

 使用滑軌爐實(shí)現快速升溫和降溫。

 設備*的技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長(cháng)。

主要特點(diǎn):

1.薄膜沉積速率高:射頻輝光技術(shù),大大的提高了薄膜的沉積速率,沉積速率可達10?/S;
2. 大面積均勻性高:采用了*的多點(diǎn)射頻饋入技術(shù),特殊氣路分布和加熱技術(shù)等,使得薄膜均勻性指標達到8%;
3. 一致性高:用半導體行業(yè)的*設計理念,使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%;
4. 工藝穩定性高:高度穩定的設備保證了工藝的連續和穩定;

技術(shù)參數:

1、單溫區加熱系統

最高溫度

1200

使用溫度

1100

爐膛有效尺寸

Φ60*1650mm

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類(lèi)型

K

控溫精度

1

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數自整定,

?操作界面為10"工控電腦,內置PLC控制程序,

?可將溫控系統、滑軌爐滑動(dòng)(時(shí)間和距離)設定為程序控制。

加熱長(cháng)度

440mm

恒溫長(cháng)度

200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

220V

額定功率

3KW


2、PE射頻電源

CVD系統可配備PE射頻電源,將CVD系統升級為PECVD。當參與反應的氣氛進(jìn)入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體,可使反應更加充分。同時(shí)等離子體起增強的作用,從而很大程度上優(yōu)化實(shí)驗的工藝條件。

信號頻率

13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍

500W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩定度

±0.1%

諧波分量

-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V 頻率50/60HZ

整機效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強制風(fēng)冷


3、五路質(zhì)子流量控制系統

供氣系統是一種可控制4種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,也可根據實(shí)驗需求加裝洗氣裝置,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動(dòng)機柜內,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程

氬氣:1000sccm

氫氣:300sccm

甲烷:100sccm

氮氣:500sccm

氧氣:100sccm

準確度

±1.5%

線(xiàn)性

±0.51.5%

重復精度

±0.2%

響應時(shí)間

氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.10.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6或者1/4''可選

顯示

4位數字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

0.10.15 MPa, 0.01 MPa/


4、真空機組

真空機組,內部安裝雙極旋片機械泵1臺,電容真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動(dòng)擋板閥,卡箍等連接部件。設備冷態(tài)極限真空可達0.5Pa。

工作電電壓

220V

功率

1

抽氣速率

16m3/h

極限真空

0.5Pa

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

電容真空計

ZDM-I(

5-5000pa

不需因測量氣體種類(lèi)不同而需要系數轉換。具有較高的精確度和重復性,響應時(shí)間較短。


5、壓力控制系統:

壓力控制系統主要部件蝶閥、壓力控制器、電容真空計組成。

壓力控制系統的作用:根據實(shí)驗要求,在出氣端和泵之間增加蝶閥(調節閥)和真空計,真空計可檢測管內壓力,通過(guò) PLC 調節蝶閥(調節閥)開(kāi)啟的大小,以達到控制管內壓力不變。

壓力可范圍:100~100000Pa

控制精度:測量值±5%




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