回轉CVD系統

1、三段電阻絲加熱爐，加熱溫區300+300+300，上下6點(diǎn)獨立控溫，溫場(chǎng)均勻性好；

2、設備兩端配有磁流體密封法蘭，確保爐管能在真空條件下進(jìn)行轉動(dòng)；

3、設備配有螺旋上料機構，上料電機轉速可調，可自由調節上料速度；

4、智能一體化工控屏顯示控制，操作界面簡(jiǎn)潔，方便使用。

本臺定制回轉CVD設備，可實(shí)現一次加3L粉料進(jìn)行生產(chǎn)；從結構上共分成主體設備、上料機構、收料機構三大模塊。 一、主體CVD設備主體CVD設備主要包含加熱系統、氣路系統、真空系統、爐管回轉機構。1、加熱系統：三溫區加熱爐膛，溫區長(cháng)度300+300+300mm，總加熱功率12KW?？販責犭娕紴镵型熱電偶，每段溫區爐膛上下各1個(gè)控溫點(diǎn)獨立控溫，提高爐膛溫場(chǎng)均勻性。2、氣路系統：6路工作氣體，分別由5個(gè)D07-19B 500sccm N2和1個(gè)CS200A 500sccm N2質(zhì)量流量計控制進(jìn)入混氣罐，另外配置1路吹掃氣路，由1個(gè)D07-19B 5slm N2質(zhì)量流量計并聯(lián)接入混氣罐之前，可以對整個(gè)氣路系統進(jìn)行吹掃。3、真空系統：采用BSV30真空泵，并配置PCG550真空計檢測腔體真空度。4、爐管回轉機構：采用伺服電機，并配置1:30減速機，保證爐管回轉平穩。 二、上料機構上料機構由螺桿送料器、升降機構、滑動(dòng)滑軌組成，送料前通過(guò)搖動(dòng)渦輪升降器手柄可以調節螺桿送料器的送料螺桿的中心高度，與設備法蘭中心高度一致后，鎖緊升降器上方導柱的鎖緊手柄；可左右移動(dòng)送料螺桿至合適位置進(jìn)行送料。 三、收料機構用真空泵將收料桶抽成真空狀態(tài)，將收料桿深入設備內部物料處，打開(kāi)收料桿上的球閥，利用真空負壓產(chǎn)生的吸力將物料吸入收料桶內。