單工位快速退火爐

設備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調速裝置、高真空機組、流量控制系統及工控電腦操作系統。

（1）單端封口小型紅外滑軌爐

該加熱系統采用*制造工藝，造型新穎結構合理，爐體爐管可實(shí)現自動(dòng)分離，爐體上下兩半設計，氣動(dòng)彈簧支撐結構讓操作者可各角度自由打開(kāi)，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強高溫穩定性，可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統由紅外燈管加熱，采用內插熱電偶控溫的方式實(shí)時(shí)顯示石英腔體內部溫度，加熱區長(cháng)度為370mm，恒溫區長(cháng)度200mm，確保兩個(gè)φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區內，為讓樣品在爐管內的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區200mm內的溫場(chǎng)均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個(gè)石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過(guò)程可在通入一定量保護氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達到2℃/s， 試樣反應區處在一個(gè)密閉的石英腔體內，在完成工藝的同時(shí)大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內的溫場(chǎng)均勻性及石英艙體內的潔凈度。

（2）電機調速裝置：

伺服電機調速裝置用于控制絲桿的轉動(dòng)速度，達到控制爐管部分的整體移動(dòng)速度（含樣件），以此調整快速升降溫的目標速率，電機旋轉速度實(shí)時(shí)顯示并且精確可控，以獲得精確的移動(dòng)速度，滿(mǎn)足降溫時(shí)工藝參數要求。

（3）高真空機組：

   該高真空機組系統主要配備寧波鮑斯產(chǎn)DRV-10真空機械泵及KYKY的分子泵，空爐、冷態(tài)、潔凈、從泵啟動(dòng)開(kāi)始到100Pa ≤10min，壓升率≤5Pa/min。

1、 技術(shù)指標

        環(huán)境溫度：5~32℃

空氣相對濕度：≤85%

工作電壓：AC220V±10%  50/60HZ

功率：1KW

系統整體極限真空度：5.0×10^-5Pa

實(shí)驗真空度：5.0×10^-3Pa

2、 主要配置

（1） 機械泵：抽氣速率：4L/S；

                        容油量：1.1L；

                        電機功率：400W；

（2） 分子泵：抽氣速率：100L/S；

                        極限壓強：6×10^-6Pa；

                        啟動(dòng)時(shí)間：＜2min；

                        額定轉速：4300轉/分

                        冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；

           （3）復合真空計：測量路數：2路（電阻規、電離規各1路）；

工作模式：手動(dòng)/自動(dòng)；

電阻單元參數：

規管型號：ZJ-52T電阻規

測量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

              電離單元參數

規管型號：ZJ-27電離規

可測范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

規管除氣方式：焦耳去氣

（4）流量控制系統：

該系統配置一路流量控制器，用于真空下的氣氛燒結，以及用于降溫過(guò)程中的通入一定量的氣體來(lái)達到目標降溫速率。

質(zhì)量流量控制器：流量計標準量程：1000sccm，

                工作溫度：5~45℃；

                工作壓差：0.1~0.5Mpa；

                大壓力：3Mpa；

                準確度：±1.5% FS±1.5% FS

（5）工控電腦及操作系統：

該系統人機界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機旋轉速度等信息。

（7）其他參數：

1. 底座固定采用福馬輪旋轉方式，便于固定及移動(dòng)；

2. 設備高度要求操作平臺離地高度700mm， 便于平臺操作。

3. 設備石英腔體內樣品支撐架及固定夾具托盤(pán)等相關(guān)備附件由乙方提供。