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等離子體增強回轉PECVD系統

簡(jiǎn)要描述:等離子體增強回轉PECVD系統 主要特點(diǎn)
我司研制的回轉PECVD系統能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區,輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。

  • 產(chǎn)品型號:BTF-1200C-R-PECVD
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2021-11-10
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1863

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品牌貝意克價(jià)格區間面議
儀器種類(lèi)管式爐產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子

等離子體增強回轉PECVD系統 

該款設備選用特殊形狀(兩頭細中間粗)的石英管作為化學(xué)氣相沉積的反應室;加熱的同時(shí)爐管可360度旋轉,管內壁有石英擋片幫助粉體材料翻炒有助于燒結得更均勻;而且爐體可左右大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0~35°可調。

此款設備現廣泛應用于低溫石墨烯制備實(shí)驗、粉體材料碳包覆實(shí)驗。

等離子體增強回轉PECVD系統 技術(shù)參數Technical Parameters


Furnace加熱爐

Max. Tem最高溫度

1200℃

Heating zone length加熱區長(cháng)度

440mm

Constant zone length恒溫區長(cháng)度

200mm



Temperature Controller

控溫方式


模糊PID控制和自整定調節


智能化30段可編程控制


超溫和斷偶報警功能


操作界面為7"工控電腦

Heating Elements

加熱元件


電阻絲(摻鉬鐵鉻鋁合金)

Temperature Accuracy

控溫精度

+/- 1℃

Processing tube

爐管


尺寸:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm


爐管轉速:3~13r/min

Furnace body inclination angle

0~35°(adjustable)

PE source PE源

Signal frequency信號頻率

13.56 MHz±0.005%

Power output range功率輸出范圍

0-500W

RF output interface射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

Power stability功率穩定性

≤5W

Gas supply system氣路系統

High precision mass Flowmeter(Range optional)

高精度質(zhì)量流量計(量程可選)

Accuracy準確度

±1.5%

Response accuracy響應精度


·±0.2%

Response time響應時(shí)間



氣特性


電特性

Working pressure difference range工作壓差范圍


0.1~0.5MPa

Max. pressure最大壓力


·3MPa

Connection 連接頭類(lèi)型



Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭


Vacuum unit真空系統

KF25 series bellows and manual stopper valves

采用KF25系列波紋管和手動(dòng)擋板閥

Vacuum up to10-1Pa

真空度可達10-1Pa

The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester  

數顯真空測試儀可直觀(guān)的顯示數值



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