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PECVD系統

智能型簡(jiǎn)易版回轉型

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談?wù)凱ECVD系統的優(yōu)缺點(diǎn)

BTF-1200C-S-PECVD微型PECVD系統

更新時(shí)間：2021-09-30

型號：BTF-1200C-S-PECVD

瀏覽量：3512

微型PECVD系統本設備主要針對實(shí)驗中試石墨烯生長(cháng)和制備使用，同時(shí)該設備可以用于碳納米管的生長(cháng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
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三溫區PECVD

更新時(shí)間：2021-09-30

型號：

瀏覽量：2652

三溫區PECVD產(chǎn)品簡(jiǎn)介：本設備主要針對實(shí)驗和中試石墨烯生長(cháng)和制備使用，同時(shí)該設備可以用于碳納米管的生長(cháng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
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等離子輝光滑軌PECVD系統

更新時(shí)間：2020-06-17

型號：

瀏覽量：1690

等離子輝光滑軌PECVD系統 1.爐內溫度場(chǎng)的均勻分布 2.可自行根據不同溫度曲線(xiàn) 3.電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品高性能、免維護
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BTF-1200C-SSL-PECVD雙爐PECVD

更新時(shí)間：2021-02-02

型號：BTF-1200C-SSL-PECVD

瀏覽量：1570

雙爐PECVD（等離子化學(xué)氣相沉積系統）系統，有多路質(zhì)量流量計系統（進(jìn)口流量計），真空機組（進(jìn)口真空泵），PE射頻電源（進(jìn)口射頻源），溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化，有利于降低工藝溫度，同時(shí)擴大工藝的使用條件，滿(mǎn)足更多的工藝實(shí)驗要求，如石墨烯、碳納米管等，控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上，便于操作與觀(guān)察。
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PECVD-500A-D智能型PECVD系統（含壓力控制系統）

更新時(shí)間：2024-02-18

型號：PECVD-500A-D

瀏覽量：1520

智能PECVD設備是目前最新型的一款設備，將所有的控制部分集為一體，此款設備是我司于2013年研發(fā)成功的，可配備PE射頻電源，將CVD系統升級為PECVD。當參與反應的氣氛進(jìn)入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體，可使反應更加充分。同時(shí)等離子體起增強的作用，從而很大程度上優(yōu)化實(shí)驗的工藝條件。
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BTF-1200C-R-PECVD等離子體增強回轉PECVD系統

更新時(shí)間：2021-11-10

型號：BTF-1200C-R-PECVD

瀏覽量：1864

等離子體增強回轉PECVD系統主要特點(diǎn) 我司研制的回轉PECVD系統能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。
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BTF-1200C-S-SL-PECVD滑軌式PECVD

更新時(shí)間：2021-11-03

型號：BTF-1200C-S-SL-PECVD

瀏覽量：1599

小型滑軌式PECVD系統本設備主要針對實(shí)驗中試石墨烯生長(cháng)和制備使用，同時(shí)該設備可以用于碳納米管的生長(cháng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
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BTF-1200C-SL-PECVD單溫區滑軌式PECVD系統

更新時(shí)間：2021-09-30

型號：BTF-1200C-SL-PECVD

瀏覽量：1417

單溫區滑軌式PECVD系統本設備主要針對實(shí)驗中試石墨烯生長(cháng)和制備使用，同時(shí)該設備可以用于碳納米管的生長(cháng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
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